位移量程1mm, 2mm, 4mm, 10mm, 15mm, 25mm等可選
重復(fù)精度最高0.1μm,多種形狀接觸頭可選
回彈式/分體式/真空抽吸式/自由跌落超輕接觸式/氣動式等多種驅(qū)動方式主體外徑尺寸φ8mm,可配模擬量信號,數(shù)字量信號模塊和多通道測量儀表測量產(chǎn)品高度、厚度、內(nèi)徑、外徑、平面度、段差、圓柱度等等
一、回彈式(彈簧自復(fù)位)位移傳感器
采用彈簧自復(fù)位驅(qū)動方式,內(nèi)置彈簧彈力可選。具有高性能,高精度,高穩(wěn)定性等特點。量程1~25mm可選,重復(fù)精度高達到0.1 μm,出線方式有直出和側(cè)出等。
二、分體式(帶鐵芯連桿)位移傳感器
采用傳感器主體和鐵芯連桿分離的方式,驅(qū)動機構(gòu)直接連接鐵芯連桿。電感原理,具有高性能,高精度,高穩(wěn)定性等特點。量程2mm,重復(fù)精度高達到0.1μm,出線方式側(cè)出或裸線。
三、真空抽吸式位移傳感器
采用真空發(fā)生器對傳感器腔體抽吸驅(qū)動回彈的方式,同時可以當做常規(guī)回彈式傳感器使用。具有高性能,高精度,高穩(wěn)定性等特點。量程2~15mm可選,重復(fù)精度高達到0.1μm,出線方式側(cè)出
四、自由跌落超輕接觸式位移傳感器
采用垂直自由落體驅(qū)動,無內(nèi)置彈簧。具有高性能,高精度 ,高穩(wěn)定性等特點。量程4mm,重復(fù)精度達到0.1μm,出線方式有直出和側(cè)出等。對于對測量力有要求的被測物體,例如玻璃,塑料,薄膜,晶片等等,可以選用超輕接觸式位移傳感器,避免對被測物體的二次傷損。
五、氣動式位移傳感器
采用壓縮空氣充氣驅(qū)動,泄氣自行回彈的方式。具有高性能,高精度,高穩(wěn)定性等特點。量程2~10mm可選,重復(fù)精度達到0.1μm,出線方式有直出和側(cè)出等。對于對測量力有要求的被測物體,例如玻璃,塑料,薄膜,晶片等等,可以選用氣動超輕接觸式位移傳感器,避免對被測物體的二次傷損。